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出張触媒交換|オゾン発生装置、オゾン分解装置に関する技術情報サイト

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HOME > オゾン発生・分解装置最新事例紹介 > 出張触媒交換

オゾン分解器?こんなことも出来ます。局所排気装置です。

■before

半導体製造等の装置ラインにおいて、分解器の予備器がない場合、分解器を取り外してメーカーに送り、
オーバーホールを実施すると、分解器が戻るまでに最短でも7~10日かかる。(その間、装置ラインを動かせないことになる。)



■after

メーカーより触媒交換を出張して実施する。
これにより、半導体製造等の装置ラインは、4~5時間の停止で済む。(定期メンテナンス等に当て込める)
組付け等はメーカーの人員が行なうため、組付けによる不備等があった場合は、メーカーで責任を負います。
予備器がない場合等には承ります。

  

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