設計段階におけるオゾン発生・分解装置の設置ポイント|オゾン発生・オゾン分解装置.com
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処理ガスが高温(300℃以上)であったり、水蒸気や硫黄ガス、硝酸ガスがオゾンと混合することで、分解装置の分解能力が低下します。 |
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硫黄や硝酸、窒素系ガスはフィルターの表面を覆ってしまうので、オゾン分解装置を通す前に除去するか、オゾン分解装置を用いません。また300℃以上のガスについては、前工程で冷却を行うか、オゾンの分解方法は熱分解方式を用いるようにします。 |
分解装置への処理ガスの中に高温ガスや硝酸系、硫黄系ガスなどが含まれる場合は分解装置自体の能力が低下してしまうため、前工程で確実に各種ガスをシャットアウトしておく必要があります。
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